纳米光刻是纳米技术的一个分支，涉及制造纳米级结构的研究和应用，纳米级结构意味着至少一个横向尺寸在 1 至 100 nm 之间的图案。
纳米光刻是微观层面上蚀刻、书写或印刷的艺术和科学，其中字符的尺寸为纳米量级（单位为 10 -9 米，或百万分之一毫米）。
Nanolithography
Nano Research、Scripta Materialia、Nanoscale、Lab on a Chip - Miniaturization for Chemistry and Biology相关期刊